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    膜厚测量

    薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的,用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。
       该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说,如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。
          AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数(n、k值),实现实时或在线膜厚和折射率监控。

    参数指标:

    • 光谱范围 200~1100nm 测量速度 2 ms minimum
    • 膜厚范围 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
    • 分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25%

    典型应用领域:

    • Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导体制造
    • Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显示器
    • Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料
    • Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉
    • Pharmaceuticals, Medial Devices 制药
    • Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜
    • Semiconductor compounds 半导体化合物
    • Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
    • Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

    AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件,例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件,实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。 例如:AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度,并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。

     


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